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最近对提高设备或配件的工程效率和生产收率关心颇高,在此期间,精密清洗市场也不断得到发展。
SOLMICS利用细瓷配件材料企业的经验,可轻松掌握需要清洗的材质的特点,并且在配件的装卸上施行从清洗、检查、重装、工程调整的一条龙服务,出现问题时可迅速处理。另外,为体现清洗区别,采用极低温状态中的CO2清洗和利用与半导体生产设备Chamber工程条件相似的RF等离子体、KRF晶片等离子体方式,进行广泛的承包清洗。