Home → 会社概要 → 事業領域 → 半導体及びＬＣＤ部品素材 アルミナセラミックスは、特有の耐熱性・耐摩耗性・半導性・絶縁性の特徴を有しており、各種の電子部品、半導体ＬＣＤ工程、宇宙船、自動車エンジンだけでなく、人体の骨格移植に至るまで、広範な使用領域をカバーしています。 ソルミックスは、アルミナの焼結の際に、製品の形態によってSilp CastingとCIP(Cold lsosstatic Pressing)の製造工法により、顧客の満足する高純度のアルミナ製品を生産・納品しています。 国内のSi Spare Partは、すでに相当の部分において国産化が進められている分野で、大きくRing TypeとCathode Typeに分けられています。 ソルミックスは、ポリシングとエッチング部分での独歩的な技術力を基に、半導体加工中にプラズマをウェーハに集中させる役割を果すとともに、ＥＳＣチャックを保護する製品を生産しています。 ソルミックスは、半導体の低圧化学基気相蒸着(LP-CVD)工程に使用されるチューブ(Tubes)やボート(Boats)、及び治具類を開発しています。超高純度反応焼結法にて製造することで300mmウェーハの熱処理が可能になっていると同時に、純度が高くて優れた耐熱性が特徴です。 現在、国内での拡散工程やLP-CVD工程に利用されるシリンコンカーバイド(Si-SiC)製品は、全量を輸入しており、製品の量産となれば、新規売上げだけでなく、輸入代替効果までも収められると期待されています。 AINは、シリコンウェーハと同様、熱膨張係数及び高熱伝導率と熱衝撃に強い特性を有しており、過酷なプラズマ環境にも耐えられる最適の条件を備えている素材として、半導体の工程中に発生するパーティクルやコンタミネーションを減らせることができます。 これにより、工程中のDry Etching、CVD、及びその他の工程における治具用の部品にと、その使用範囲が増加しつつあります。 クオーツ(Quartz)は、GD(General Electric)から高性能のランプ向けに開発され、化学的な成分と比較的高い耐熱性を持っており、半導体や光繊維などの超高純度の材質的特性を利用して様々な分野で使用されています。 クオーツ(Quartz)製品は、大きくDiffusion PartとSpare Partに分けられ、ソルミックスはこの中でSpare Partを主に生産しています。消耗されしやすいという短所がある反面、超高純度や透光性crausにおける優れた効果により、ウェーハ集積度の大容量化とLCD基板への大型化に使用され続けてています。