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→ 会社概要 → 事業領域 → 精密清浄 |
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最近の装備や部品の工程効率と歩留まりの向上への関心が高くなるにつれ、精密清浄マーケットもそれに合わせる形で成長し続けています。
ソルミックスは、ファインセラミックスの部品素材業者としての経験を生かして、清浄する材質の特性を容易に把握でき、部品の脱着を初め、清浄、検査、再装着、工程でのチューニングに至るまで、全ての過程を一元化しており、問題が発生しても素早く対処できます。また、清浄における差別化を図るために、極低温状態でのCO2清浄と半導体生産装備のチャンバー工程条件と類似しているRFプラズマKRFウェーハプラズマ方式を利用して、広範な外周面の清浄を行っています。 |
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