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クオーツ(Quartz)はガス含有量が少なく、電気伝導を生じるアルカリ成分を殆ど含まない不導体の状態で、「シリカクラス」と呼ばれています。
高純度化された石英ガラス繊維は、光吸収が低く、優れた導光性を持っており、光ファイバとしての重要な素材になっていて、半導体においては主にDry
EtchとDiffision工程に使用されています。
耐熱、耐熱衝撃、耐薬品性を利用して理化学の実験器具や時計、通信機などの水晶振動子として使われており、この光ファイバは光エレクトロニクスの進歩に伴い、光学部品としての使用が次第に増加している趨勢です。
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超高純度の材質的特性を有する。 |
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透明石英ガラスは、無数の珪酸を高い温度で溶融するため、他の材質に比べ、不純物の含量が低く、不透明石英ガラスは、良質の珪石を原料にしているので、SiO2
99.99...%以上の純度を有している。 |
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ガス含量が低い。 |
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半導体工業に使用される材質は、高純度でなければならないし、また、高温での安定性が要求されるいるが、この点、クオーツは他の材料により遥かに優れている。 |
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比熱と非伝導率 |
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透明石英ガラスの比熱は、890~1,149
J/kg(20~1,000℃)であり、熱伝導率は0℃から1.3
W/mk, 100℃で1.5 W/mkである。不透明石英ガラスの比熱は、透明ガラスとほぼ同様だが、熱伝導率はやや低い方である。 |
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優れた電気絶縁性を有する。 |
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クオーツは、電気伝導を生じるアルカリ成分を殆ど含んでない不導体状態なので、測定器や通信機種になくてはならない絶縁体として広く使われている。 |
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熱膨張が極めて低い。 |
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クオーツは、電気伝導を生じるアルカリ成分を殆ど含んでない不導体状態なので、測定器や通信機種になくてはならない絶縁体として広く使われている。 |
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区分 |
内容 |
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品質 |
- 検/校正された最先端の測定装備の利用による最上の製品供給
- 1000CLASS以上のCLASS ROOMでの最終洗浄による不良率の最少化
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技術 |
- CAD/CAMを利用した超精密マシニングセンターの加工技術力の保有
- 工場自動化システムの構築による多品種少量生産
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価格 |
- 消耗性部品の国産化による価格競争力の確保 |
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ソルミックスは、Diffusion PartとSpare
Partの中、主にSpare Partで必要となる色々な |
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形のRing
Typeを生産しており、精密加工部分において独歩的な技術力を保有しています。 |
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クオーツ(Quartz)パートの主な製品 |
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品名 |
製品の用途及び説明 |
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*Focus
Ring |
プラズマの形成後にチャンバー(Chamber)内のプラズマを正確な位置に集める役割と、絶縁機能の遂行。最近、Si
Focus Ringに一部代替されている。 |
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*Edge
Ring |
プラズマの圧力を制御する役割をする。 |
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*Belljar |
マイクロ波を透過させてプラズマ形成を制御する役割をする。 |
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*Boat类 |
熱酸化膜の拡散CVD(Chemical Vapor
Deposition)の工程に使用され、ウェーハを工程に移送するための容器として使われている。 |
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*Tube类 |
酸化膜の形成または拡散の工程に使われ、Boat類の製品を巻く形でできているQuartzの反応炉である。 |
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*Cap类 |
Quartzを受け持っている製品で、内部の熱損失がないように保温の役割をする。 |
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*Bath类 |
ウェーハの洗浄工程とエッチング工程でウェーハに損傷を与えなく、受け入れられる四角の筒 |
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*其他主要产品 |
Wide Pocket, Shadow Ring,
Base Plate, Lifter Pin,
Shield Ring...etc |
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Purity % 純度 |
99.99 |
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Bulk Density [g/cc] 密度 |
2.15~2.21 |
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Vickers Hardness [GPa] Load0.5Kg
HVI-9.807N ビッカース硬度 |
8.6 |
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Bending Strength [MPa] 曲げ強さ |
70 |
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Compressive Strength [Mpa]
圧縮強度 |
>1100
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Youngs Modulus [Gpa] ヤング率 |
72 |
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Poissons Ratio ポアソン比 |
0.17
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Thermal Conductivity [W/mK]
熱伝導RT |
1.5 |
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Thermal Expansion [x10-6/°C]
熱膨張係数 |
0.5 |
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Heat Shock Strength [△T°C]
耐熱衝撃 |
>1000 |
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Specific Heat [RT] (J/kg.K)
比熱 |
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Max Useable Temperature
[°C] 使用温度 |
1200(1350) |
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Volume Resistivity [Ω. ㎝]
体積抵抗率 |
>1014 |
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Dielectric Strength [V/m]
絶縁破壊強度 |
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Dielectric Constant [25°C
1MHZ] 誘電常数 |
3.75 |
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