Home → 製品紹介 → 精密洗浄 精密洗浄事業とは、工程中に発生する微細汚染から部品の寿命と母材損傷を最少化させ、工程への安定化を図り、表面汚染物の除去によるパーティクルの減少により生産性を向上させゆる事業分野で、平板ディスプレー市場における活況とともに、高い成長勢を見せています。 特に、ウェーハ及びガラスに直接影響させないチャンパーの内外部と繋がれた構成品については長い間洗浄の重要性が強調されてきましたが、クリーニングへの認識不足により、継続的な技術開発がなかなか思うようにいかなかった分野でした。 しかし、多くの企業で、パーティクルがYieldに及ぼす影響、装備稼働率、購買費用を減らせる方案を考えながら、装備部品のクリーン化事業はより不覚されています。 Description Equipment Process Material Solution Belljar Endura5500 Pre Clean P II Quartz Wet+Plasma Lid-liner Endura-5500HP CVDTin Ceramic Wet+Dry Cathode Tel-8500 Oxide Si Dry 区分 内容 品質 - 検/校正された最先端の測定装備の利用による最上の製品供給 - Final Plasma洗浄方式の適用 技術 - Furnace、Chemical、Dry、CO2 CleaningなどのPrecision Cleaning Method装備の保有 - 汚染物を剥離させるMetal Cleaning 及び既存のChemical 方式と熱処理方式を混用したCeramic Cleaning洗浄を実施。 - 素材加工ノーハウを基に、洗浄品の特性を把握した後、専門洗浄を実施。 - 極低温状態でのCO2洗浄とRF Plasma & Wave Plasma 洗浄方式を利用した洗浄へと拡大して実施する予定。 価格 - 洗浄自動化設備の構築による洗浄工程の短縮 - Dry 洗浄の拡大適用による他社との価格競争力の保有