Home → 产品介绍 →Quartz 部分 石英(Quartz)因气体含量少，属于几乎不含有形成导电的碱性成分的非导体状态，又称“二氧化硅玻璃”。 高纯度化的石英玻璃纤维因光吸收少，具有卓越的导光性，是光纤的重要材料，在半导体商主要用于干性蚀刻就Diffision工程。 利用耐热、抗热冲击、耐药品性，在理化实验器具、钟表、通讯器材等方面用作水晶振子，光纤随着光电子的进步，作为光学配件，其使用量呈现出逐渐增加的趋势。 具有超高纯度的材质特点。 透明石英玻璃因将无水硅酸在高温下进行熔融，所以与其他材质相比，不纯物的含量少，不透明石英玻璃因以优质硅石作为原料，二氧化硅（SiO2）的纯度达到99.99...%以上。 气体含量少。 使用于半导体工业的材质要求非常高的纯度和高温中的稳定性，从这些要求上来看，石英比其他材料更加优越。 比热与比导电率 透明石英玻璃的比热为890 ~1,149J/kg(20~1,000℃)，热传导率为0℃上1.3W/mk、100℃上1.5W/mk。不透明石英玻璃的比热与透明玻璃几乎相同，但热传导率较低。 具有超高纯度的材质特点。 石英因几乎不含形成导电的碱性成分，属于非导体状态，所以作为测量仪或通讯器材中不可或缺的绝缘体而广为利用。 热膨胀非常少。 石英因几乎不含形成导电的碱性成分，属于非导体状态，所以作为测量仪或通讯器材中不可或缺的绝缘体而广为利用。 类别 内容 质量 - 利用验证/校正的最尖端测量装置，供应最佳产品 - 在1000CLASS以上的CLASS ROOM，通过最终清洗，使不良率最小化 技术 - 拥有利用CAD/CAM的超精密加工中心加工技术力量 - 通过建立工厂自动化系统，多品种小量生产 价格 - 通过消耗性配件的国产化，具备价格竞争力 SOLMICS在Diffusion Part和Spare Part中，主要生产Spare Part所需的各种形态的Ring Ring Type，在精密加工部分拥有独家技术力量。 石英(Quartz)部件主要产品 品名 产品用途及说明 *Focus Ring 起到等离子体形成后，在Chamber内，使等离子体集中到正确位置的作用，并具有绝缘功能。最近，部分被Si Focus Ring替代。 *Edge Ring 起到控制等离子体的压力的作用。 *Belljar 起到发射微波，控制等离子体的形成的作用 *Boat类 使用于热氧化膜扩散CVD(Chemical Vapor Deposition)工程，还作为将晶片传送到工程的容器而使用。 *Tube类 使用于氧化膜的形成或扩散工程，而且包容Boat类产品形态的石英反应炉。 *Cap类 支撑石英的产品，为防止内部的热损失，起到保温作用。 *Bath类 在晶片清洗工程和蚀刻工程中，为防止损伤晶片而装晶片的四方形桶。 *其他主要产品 Wide Pocket、Shadow Ring、Base Plate、Lifter Pin、Shield Ring...etc Purity % 纯度 99.99 Bulk Density [g/cc] 密度 2.15~2.21 Vickers Hardness [GPa] Load0.5Kg HVI-9.807N 维氏硬度 8.6 Bending Strength [MPa] 弯曲强度 70 Compressive Strength [Mpa] 压缩强度 >1100 Youngs Modulus [Gpa] 弹性模量 72 Poissons Ratio 泊桑比 0.17 Thermal Conductivity [W/mK] 热传导RT 1.5 Thermal Expansion [x10-6/°C] 热膨胀系数 0.5 Heat Shock Strength [△T°C] 抗热冲击 >1000 Specific Heat [RT] (J/kg.K) 比热   Max Useable Temperature [°C] 使用温度 1200(1350) Volume Resistivity [Ω. ㎝] 体积电阻系数 >1014 Dielectric Strength [V/m] 绝缘强度   Dielectric Constant [25°C 1MHZ] 介电常数 3.75