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→ 产品介绍 → 精密清洗 |
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精密清洗事业是在工程中产生的细微污染中，将配件的寿命和母材的损伤降到最低，寻求工程稳定化，并通过清除表面污染物，减少微尘，可提高生产的事业领域，目前随着平面显示器市场的利好，呈现出高增长势头。
尤其是，对直接影响晶片及玻璃的与Chamber内外部相连接的各种构件，一直以来强调清洗的重要性，但由于缺乏对清洁的认识，未能形成持续性技术开发。
但是随着众多企业寻求减少Particle对Yield的影响、设备启动率、购买费用的方案，设备及配件的清洁化事业变得更为重要。 |
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| Description |
Equipment |
Process |
Material |
Solution |
| Belljar |
Endura5500 |
Pre Clean P II |
Quartz |
Wet+Plasma |
| Lid-liner |
Endura-5500HP |
CVDTin |
Ceramic |
Wet+Dry |
| Cathode |
Tel-8500 |
Oxide |
Si |
Dry |
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类别 |
内容 |
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质量 |
- 利用验证/校正的最尖端测量装置，观察清洗产品的前后状态
- Final Plasma清洗方式的适用
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技术 |
- 拥有Furnace、Chemical、Dry、CO2 Cleaning等精密清洗方法设备
- 实施剥离污染物的金属净洗（Metal Cleaning）及将现有化学方式和热处理方式混合的Ceramic
Cleaning清洗
- 以材料加工经验为基础，掌握清洗品的特点后，实施专业清洗
- 在极低温状态下，利用CO2清洗和RF Plasma &
Wave Plasma清洗方式的清洗，计划扩大实施
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价格 |
- 设置清洗自动化设备，缩短清洗工程
- 通过扩大适用干式清洗，与其他公司相比，拥有价格竞争力
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